Για τη γεωμετρική τεκμηρίωση του Ερεχθείου πραγματοποιήθηκε τρισδιάστατη σάρωση με σαρωτή με ονομαστική ακρίβεια καλύτερη του 0.5 mm. Επιλέχθηκε ανάλυση σάρωσης 2 mm ή και καλύτερη σε περιοχές ειδικού ενδιαφέροντος όπως π.χ. στις Καρυάτιδες. Για την συνένωση των επιμέρους σαρώσεων- συνολικά έγιναν 1207 σαρώσεις- χρησιμοποιήθηκαν φωτοσταθερά αλλά και αλγόριθμοι συνταύτισης επιφανειών με μέσο τετραγωνικό σφάλμα μικρότερο από 2 mm. Το τελικό νέφος σημείων που δημιουργήθηκε αποτελείται από περίπου πέντε δισεκατομμύρια σημεία.